ICF152オートトランスレーター  製品案内 真空光学株式会社

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ICF152オートトランスレーター

ICF152オートトランスレーター

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仕様

・ Z方向移動 :50mm(パルスモーター駆動)、フランジ面間 min198mm max648mm、分解能 0.1μm/pulse、上下限リミットスイッチ付
・ 取り付けフランジ:ベースフランジ ICF152FH、移動フランジ ICF114FH
・ 溶接ベロー:外径φ110mm 内径φ80mm 使用
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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