・ 溶接ベロー使用：伸縮方式 ・ 精 度：目盛 0.01ｍｍ ・ ストローク：0〜22ｍｍ ・ 取付フランジ：ICF34FH、ロッド φ6 先端M6X18L加工 ・ 超高真空仕様：リーク量 5×10-10 torrl/sec以下
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