直線導入機　　製品案内　真空光学株式会社

仕様

・ 溶接ベロー使用：伸縮方式　
・ 精 度：1mm/Rev、0.05mm/div
・ 超高真空仕様：リーク量 5×10-10 torrl/sec以下
・ 接続フランジ：ICF70（114、152も製作可能）
・ ストローク：0〜40mm