同軸直線導入機  製品案内 真空光学株式会社

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同軸直線導入機

同軸直線導入機

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本製品は従来の直線導入機と異なり可動シャフトが貫通しており、フィッティング等を取り付けられるフランジを付け加え、超高真空槽内における、直線移動、位置決め等に各種複合的な操作を可能にし、取付けフランジICF34が付加されていますので、一般的フィードスルーが利用でき、電流導入端子を用いた可動型検出器やその他の運動導入機と組み合わせて、2軸作動マニピュレーター、ガス導入バルブ等を取り付けた可動型ノズル、スニーファー等、幅広い利用ができます。

仕様

・ 溶接ベロー使用:伸縮方式
・ 精 度:1mm/Rev 0.05mm/div
・ 移動距離:0〜40mm(MLM−40S−BN)、0〜80mm(MLM-80S-BN)
・ 接続フランジ:ICF34FH
・ 拡張取付フランジ:ICF34FT BNC付ICF34付属
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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