貫通型直線導入機  製品案内 真空光学株式会社

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貫通型直線導入機

貫通型直線導入機

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本製品は従来の直線導入機に各種導入機、フィッテイング等を取付けられるフランジを付け加え、超高真空槽における直線移動、位置決め等に用いられる単なる直線導入機というだけでなく、各種複合的な操作を可能にするものです。
取付けフランジはICFフランジであることから、一般のフィードスルーが利用でき、例えば、電流導入端子を用いた可動型の検出器、他の運動導入機と組み合わせて2軸動作型マニュピレーター、バルブ等を取り付けた可動型ノズル、スニーファーなど幅広い応用が考えられます。

仕様

・ 移動距離:0〜40mm(LM-40S-BN)、0〜80mm(LM-80S-BN)
・ 接続フランジ:ICF70FH
・ 拡張取付けフランジ:ICF34FT BNC付ICF34付
・ 位置決め精度:1rev./2mm 1目盛り/0.1mm
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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