XYステージ  製品案内 真空光学株式会社

製品案内

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XYステージ

XYステージ

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本製品は、超高真空における移動および測定等の実験で大気中において
XYの平行移動を正確かつ再現性よく操作できるように設計され、精密に製作、組立が行われており、当社の製品は幅広く各方面で利用されております。

仕様

・ X・Y 平行移動:最大移動 ±5mm、精度 目盛 0.01mm
・ 取り付けフランジ:ICF70FT 及び ICF70FH、ICF114 及び ICF152 タイプもあります。
・ 溶接ベロー:内径 20mm外径 40mm
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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