XYステージ　　製品案内　真空光学株式会社

本製品は、超高真空における移動および測定等の実験で大気中において
XYの平行移動を正確かつ再現性よく操作できるように設計され、精密に製作、組立が行われており、当社の製品は幅広く各方面で利用されております。

仕様

・ X・Y 平行移動：最大移動 ±5mm、精度　目盛　0.01mm
・ 取り付けフランジ：ICF70FT　及び　ICF70FH、ICF114　及び　ICF152　タイプもあります。
・ 溶接ベロー：内径 20mm外径 40mm
・ リーク量：10-10 Pa・ｍ3/sec 以下